单工位旋转喷淋清洗机
喷淋塔又可称为酸雾中和塔,脱硫塔,洗涤塔,废气塔。处理效果具有阻力小、 能耗省、噪音低、处理,能处理化氢气体,化氢气体,硫酸雾,氢酸气 体,硫化物气体等其他有害气体的新型净化塔,它具有净化、结构紧凑、占地面积小、 耐腐蚀、性能好、重量轻的特点。它适用于排放浓度的腐蚀性酸雾气体,主要用 于化工、工业电子、喷漆、冶金、电镀、纺织(化纤)、食品、机械制造
全自动单工位喷淋清洗机厂家
单工位旋转喷淋清洗机
喷淋塔又可称为酸雾中和塔,脱硫塔,洗涤塔,废气塔。处理效果具有阻力小、 能耗省、噪音低、处理,能处理化氢气体,化氢气体,硫酸雾,氢酸气 体,硫化物气体等其他有害气体的新型净化塔,它具有净化、结构紧凑、占地面积小、 耐腐蚀、性能好、重量轻的特点。它适用于排放浓度的腐蚀性酸雾气体,主要用 于化工、工业电子、喷漆、冶金、电镀、纺织(化纤)、食品、机械制造等废气场所。进一步的,所述接收箱、净化箱和排出箱的表面都设有太阳能板,且所述太阳能板均与所述接收箱、净化箱和排出箱通过黏胶粘合。
山东亚世特工业清洗设备有限公司
喷淋塔主要工作原理就是:酸性气体从塔体下方进气口沿切向进入净化塔,在通 风机的动力作用下,迅速充满进气段空间,然后均匀地通过均流段上升到一层填料吸 收段。在填料的表面上,气相中酸性物质与液相中碱性物质发生化学反应。反应生成 物油(多数为可溶性盐类)随吸收液流入下部贮液槽。未全吸收的酸性气体继续上 升进入一层喷淋段。在喷淋段中吸收液从均布的喷嘴高速喷出,形成无数细小雾滴与 气体充分混合、接触、继续发生化学反应。然后酸性气体上升到二层填料段、喷淋段 进行与一层类似的吸收过程。二层与一层喷嘴密度不同,喷液压力不同,吸收酸性气 体浓度范围也有所不同。在喷淋段及填料段两相接触的过程也是材热与传质的过程。 通过控制空塔流速与滞贮时间确保这一过程的充分与稳固。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。

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