净化工程的建筑要求和施工标准
无尘车间结构材料
1、洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2、地面采用环氧自流平或塑料洁净地板。
3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤
万级无尘车间
净化工程的建筑要求和施工标准
无尘车间结构材料
1、洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2、地面采用环氧自流平或塑料洁净地板。
3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;
压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;
温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%;
照度:≥300Lux
无尘室压差控制方法
无尘室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘室 内的空气量适当的大于回风和排风量时,室内则可维持一定的正压值。此时,在室内外静压差的作用下,通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。
压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。对于洁净 空调系统来说,过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加,从而影响风量,排风设备的时开时停也会导致排风量的变化;此外,与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查,并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。

必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等,这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能。洁净室一些配套设备如工作台,洗手池,鞋凳、地漏等要选择不锈钢材质的,不容易产生灰尘。无尘车间等级定义的模式如下:ClassX(atYμm)其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm,0.5μm等,可复选。无尘车间施工要求:根据GMP规范要求,缝隙部位要做密封处理。所有的配件与主体结构相连,防止松动和灰尘脱落。
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