低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。） 等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解
等离子废气处理设备
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。） 等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。
低温等离子体技术根据放电方式不同，分为五种：电晕放电、介质阻挡放电、辉光放电、射频放电和微波放电等，应用在废气治理领域常见有三种：电晕放电、介质阻挡放电和辉光放电。电晕放电的“晕”是指电场范围。当给予高压、高频的直流电源后，电离状态下会发出蓝光，当产生的蓝光光芒越强烈伴随浓郁的臭氧味更浓时，说明电场强度越发强烈，与尾气净化成正比。
离子废气净化设备采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。利用催化氧化剂的强氧化性和高吸附性，持续地对等离子体未处理尽到污染物和生成的物质进行催化氧化反应，使用害废气经多级净化后zui
终达标排放。
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