涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R
爱德华真空泵代理
涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:
S1,=2仇、+Vol卜(5.2)
其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速S要理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，
Q。为总泄漏，则〔10)
S*PL=Sw*P,司t
则实际抽速为
g
J=J'*一下了
r,
(5.3)
5.1.3极限压力
涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际
抽速S=O，即可得极限压力〔10)
(5.4)
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
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电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
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真空泵泵体振动大的原因有哪些
水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水
