湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。抗性消声器的消声原理是：它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩,或旁接共振腔,使沿管道传播的部分噪声在突变处向声源方向反射回去而不通过消声器,从而达到消声的目的
洁净室工程
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。抗性消声器的消声原理是：它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩,或旁接共振腔,使沿管道传播的部分噪声在突变处向声源方向反射回去而不通过消声器,从而达到消声的目的。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
战后半个世纪是现代科技高速发展的时期,人类经过半个世纪的努力,无论在农业、工业、、生物、宇宙探索、环境以及基本理论研究等方面,都取得了伟大的成就。材料的高纯度、产品的及高可靠性是这一时期科技发展的特点。超微细加工、装配和测试,对诸如空气洁净、防微振、防电磁干扰、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求,使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。对于特别要求高照度操盘点可以采用局部照明，而不宜普遍提高整个车间的低照度标准。控制微振动即防微振,是环境控制的一个重要组成部分。
为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。
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