旋片式真空泵是真空技术中很基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度
，主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。前者可按一般化工装置的泵处理，但对其轴封要求适当提高，以满足医l药装置对环境的严格要求。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（
谱旭真空泵
旋片式真空泵是真空技术中很基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度
，主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。前者可按一般化工装置的泵处理，但对其轴封要求适当提高，以满足医l药装置对环境的严格要求。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
为了避免罗茨泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要，也有将油的齿轮箱，轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。
在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外，而泵体的热量很容易被散失到周围大气中。因而转子与泵体之间就出现了温差。加剧了转子的热膨胀。当泵负荷增大时，转子膨胀会消失间隙，而被卡死。因此出现了气冷式罗
茨泵，用冷却的气体或大气去直接冷却热态的转子，从而减少了转子与泵壳间的温差，提高了罗茨泵的抗热能力。
爱德华EDWARDS真空泵主要型号：EDWARDS爱德华EM 系列 E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12, E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
EDWARDS爱德华RV 系列RV3, RV5, RV8, RV12
EDWARDS爱德华EH 系列 EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200
EDWARDS爱德华QMB 系列 QMB-250, QMB500, QMB1200EDWARDS爱德华XDS5，XDS10，XDS35EDWARDS爱德华PUMP GV80 GV160 GV250 GV400
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