活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起
工业洁净室
活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64MDRAV,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0。螺杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。
目前，我国实验室洁净工程的市场需求正在往节能方向发展。综上所述，对于实验室地坪的选择，是不可能同普通家具和办公室一样的。毕竟洁净工程向来都是耗能大户，据数据统计显示，其耗能比普通写字楼高10-20倍。与同类型工程对比，我国洁净工程耗能也比美国高出15%。用有一定强度和刚度的表面光洁的轻质板材做成八字形风道，隔墙高2.9m，将回风滤管、过滤器安装在风道内，百叶回风口采用定型产品300×300，风口中心标高为0.35m，叶片竖装，以避免百叶片上积尘。
洁净室土建地面与墙面不平整度不大于0.1%，墙角应垂直连接。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。为防止墙板因累积误差而倾斜扭曲，墙板垂直度偏差不应大于0.2%。天花板须按房间宽度的方向拱起，使天花板在使用负荷时保持平。天花板的四周应与墙壁紧密相连。在安装过程中，不得将板材的表面保护膜撕去。施工过程中禁止撞击或板表面。需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽应防落积尘;粘贴前必须仔细清扫,除去杂质和油污,确保粘贴密实牢固。
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