ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源,通过铜电极连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料,
300D三源有机蒸发镀膜机厂
ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源,通过铜电极连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交叉污染5。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。
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钙钛矿镀膜设备
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设备用途 :
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成:
该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。
1、镀膜室:方形前后开门结构,内带有防污板。
2、真空度:镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸发源系统:有机源蒸发源4个,无机蒸发源2套
4、样品架系统:样品大小为Φ150mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,可烘烤加热,加热温度为:室温~190℃,测温控温。
6、膜厚控制仪:测量范围0-999999
钙钛矿镀膜机的特点有哪些?
1、样品位于真空室上方,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。
2、设有烘烤加热功能,可在镀膜过程中加热样品,烘烤加热温度为≤180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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