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PECVD石墨舟生产商诚信企业推荐“本信息长期有效”

PE镀膜后四周发白浅析,近期经常接到客户咨询,石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题,用了循环后,清洗后就会发现这个问题。 这次就问题发生的原因做一个说明,并且给大家一些解决方法。 一般来说我们机台出现问题基本上为三类,偏红,正常蓝,偏白(对应表中的淡蓝色,无明确的白色膜厚,此时的白色部分膜厚接近90左右) 硅
PECVD石墨舟生产商









PE镀膜后四周发白浅析,近期经常接到客户咨询,石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题,用了循环后,清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明,并且给大家一些解决方法。

一般来说我们机台出现问题基本上为三类,偏红,正常蓝,偏白(对应表中的淡蓝色,无明确的白色膜厚,此时的白色部分膜厚接近90左右)

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色,通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后,就会得到我们需要的工艺颜色。




正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要,镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良,形成四周红片。假如镀舟过度,“吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。

因为我们的舟片是镂空的,硅片的四周是同舟片相接触的,从而造成四周的生长速率加快,形成片子四周发白(偏白)此点建议从镀舟工艺上调整。

如果正常生产到一定次数偏白请及时调整工艺。红片加时间,白片减时间。

其它原因:具体情况待交流分析




模具是工业生产中使用极为广泛的基础工艺装备,模具工业是国民经济的基础工业。在现代工业生产中,产品零件广泛采用冲压、锻压成形、压铸成形、挤压成形、塑料注射或其它成形加工方法。


1、优良的导热及导电性能

2、线膨胀系数低等很好的热稳定性能及抗加热冲击性

3、耐化学腐蚀与多数金属不易发生反应

4、在高温下(在多数铜基胎体烧结温度800℃以上)强度随温度升高而增大

5、具有良好的润滑和抗磨性

6、易于加工,机械加工性能好,可以制作成形状复杂、精度高的模具。



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