洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,
洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
洁净室中的温
洁净室无尘室
洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,
洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
洁净车间净化工程中送风量要比普通车间大很多,
一般情况下,普通车间8-10次/H换气,单向流洁净车间400-600次/H换气;洁净车间内必须时刻保持正压状态,防止外界污染物进入洁净区,而普通车间并不注重这些。 隔热保温,保湿性能好,普通车间只要能符合产品生产加工的要求就可以,在结构设计上没有特别严格的要求。板材用料方面,也没有洁净车间的严谨。洁净车间搭建的用料十分讲究,既要有很好的隔热保温功能,也可以保持湿度。

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