公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
通过金属化过程,在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。如果光刻版不洁净,存在污染颗粒,这些颗粒就会被到硅片表面的光刻胶上,造成器件性能的下降。然后在这层金属上覆上一层光刻胶。这层光阻剂在曝光(一般是紫外线)后可以被特定溶液(显影液)溶解。
玻璃板
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
通过金属化过程,在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。如果光刻版不洁净,存在污染颗粒,这些颗粒就会被到硅片表面的光刻胶上,造成器件性能的下降。然后在这层金属上覆上一层光刻胶。这层光阻剂在曝光(一般是紫外线)后可以被特定溶液(显影液)溶解。使特定的光波穿过光掩膜照射在光刻胶上,可以对光刻胶进行选择性照射(曝光)。然后使用前面提到的显影液,溶解掉被照射的区域,这样,光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。通常还将通过烘干措施,改善剩余部分光刻胶的一些性质。
随着冲版量的不断增加和空气中的CO2不断溶入,显影液中的OH-浓度会下降,pH值将越来越低,显影时间应慢慢变长,至后在正常曝光条件下PS版无法显影,这就是显影液疲劳的现象。使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(ESD),在掩膜板夹子。但随着显影液pH值的降低,碱液对氧化层和涂层树脂的腐蚀力下降,版材的网点再现性及耐印力比用新配制的显影液好一些。但必须注意两点,一是冲版量必须控制在显影液容许范围内;
光刻机的结构和工作原理:
光刻机的光源有:激光,紫外光、深紫外光、极紫外光。现在技术是极紫外光。
下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图:
在制造芯片时,首先在晶圆(硅晶片)表面涂光感胶,再用光线透过掩模版(相当于芯片电路图纸的底片)照射硅片表面,被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶,电路图就印到硅片上。
此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。
硅片上有了电路图的图样后,就轮到刻蚀机登场,刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工,在硅片表面雕刻出晶体管和电路。
光呆板业界别称光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金属铬和光感应胶,该商品是由石英玻璃或是碳酸钠夹层玻璃做为衬底,在其上边镀上一层层金属铬和光感应胶。机显时还要注意以下几点:①要定期维护显影机,以保证已曝光的PS版显影能正常进行。在塑料薄膜、塑胶或夹层玻璃化学反应原材料上制做各种各样作用图型并精i明确位,便于用以光致抗蚀剂镀层可选择性曝i光的这种构造,称之为光刻掩模板。
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