湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。APGD的研究方兴未艾,已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气
离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。APGD的研究方兴未艾,已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。当电压调整到400~800V时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。
离子渗碳后工件的硬度、疲劳强度、性等力学性能比采用传统渗碳方法所得力学性能都高,而且渗碳速度快,特别是对狭小缝隙和小孔能进行均匀的渗碳,渗碳层表面碳含量和渗层深度容易控制,工件不易氧化,表面洁净,耗电量低,无污染。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。两种靶电源不同之处:选用(工艺型)双极矩形波或正弦波中频靶电源,因其输出的电压和电流的占空比可以大范围连续调节,镀膜时电源的工艺参数适应范围比“经济型”中频靶电源要宽很多。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
从上个世纪末,国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、河北师范大学等先后开始了对APGD的研究。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。由于APGD在织物、镀膜、环保、薄膜材料等技术里域有着诱人的工业化应用前景,在大气压下和空气中实现辉光放电产生低温等离子体一直是国内外学者探寻的研究重点和热点。
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