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真空泵的运行与维护防止返油的措施：在泵入口管路上设置放气阀，使入口压力维持在10Pa以上，这样可以减少返流的98%。对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀就能很好的防止返流。在泵的入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸返流蒸汽。
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真空泵开机前注意以下几点：
1、检查机器是否有雨水侵入
2、检查机器线路是否正常
3、检查机油油位在正常范围内
4、手动盘车(从电机后盖转散热风扇判断是否正常)
5、上电， 检查三相电源是否正常
6、检查冷却水在正常范围内（螺杆真空泵，水冷罗茨真空泵，水冷旋片真空泵等）
7、注意:长时间停机再启动千万不要按下启动按钮就走人了，那样机头很容易缺油卡死，务必要以点动的方式启动。
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真空泵真空不足的原因：
1.叶片磨损或者叶片甩不出来
2.密封件老化
3.真空泵油过少
4.管路漏气或者进气口堵塞
排除方法：如果油黑了，碳化了，建议换油，加油，疏通进气口真空泵有异响
1.叶片损坏
2.轴承坏了
3.马达轴承损坏
4.端盖与转子磨到了更换轴承，更换叶片，调整相应间隙真空泵油温过高。
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