头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高i精度绝i对反射率(多层膜厚度,光学常数)
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
区域传感器的安全机制
易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量
OPTM厂家
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高
i精度绝
i对反射率(多层膜厚度,光学常数)
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
区域传感器的安全机制
易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量项目:
绝
i对反射率测量
多层膜解析
光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)
大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询!
彩色抗蚀剂(RGB)的薄膜厚度测量[FE - 0003]
液晶显示器的结构通常如右图所示。 CF在一个像素中具有RGB,并且它是非常精细的微小图案。 在CF膜形成方法中,主流是采用应用在玻璃的整个表面上涂覆基于颜料的彩色抗蚀剂,通过光刻对其进行曝光和显影,并且在每个RGB处仅留下图案化的部分的工艺。 在这种情况下,如果彩色抗蚀剂的厚度不恒定,将导致图案变形和作为滤色器导致颜色变化,因此管理膜厚度值很重要。
膜厚测试仪的预热 关机超过3个小时开机必做。点击“波数”,将波谱校准片放入仪器,将Ag部分移至十字线中间,镭射聚焦,设定测量时间为6S重复测量次数为30~50次,点击Go键,等待自动连续测量完成。
膜厚测试仪波谱校准 不关机状态下每日必做一次或每次关机3小时以上再次重开机必做,目的让仪器进行自我补偿调整。首先点击任务栏中的“波谱校准”,然后将波谱校准片放入仪器,将Cu-Ag合金部分移至十字线中间,镭射聚焦,测量(点击Go键)。待膜厚测试仪器自动完成每一步,红色STOP键会转变成绿色GO键后,将纯Ag部分移至十字线中间,镭射聚焦,测量(点击Go键),完成后出现“波谱校准成功”字样的对话框时,点击“确定”即可。
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