气体管道工程承受哪些外力的作用
气体管路工程的管道可能承受许多种外力的作用,包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了保证管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是
气体管道安装性能
气体管道工程承受哪些外力的作用
气体管路工程的管道可能承受许多种外力的作用,包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了保证管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)。固定支架用来分段控制管道的热伸长,使膨胀节均匀工作;导向支架使管子仅作轴向移动。
气体管路工程安装所有的配件管道管路必须采用耐高压特殊材质制作,坚决按照规定标准执行。管路连接要使用完全无缝管材连接,采用退火型,避免气体泄漏发生火势。
根据气量、压力、气流选择所使用的管路,管路的使用厚度坚决按照执行,只需后不需薄。对于所使用的阀门阀球坚决使用高铜材,不可偷工减料。在安装时每个气体管路工程都要有单独的阀门、压力表、减压阀、等。

高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。999%以上,其次气体的供应必须连续,输出压力平稳,气体的压力波动可能导致仪器设备无法正常工作,气体的不连续供应甚至可能导致仪器设备故障,因此实验室气体管路的设计必须非常严格。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。实验室集中供气系统已成为实验室的主流,其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高,工作流程更优化。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体CaCl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。

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