过滤器安装后的现场检漏方法 随着洁净室的广泛使用，对于洁净室过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多，而实际上根据《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）的条文，进行过滤器的安装现场检漏，还有许多问题需要探讨。目的和原理 过滤器现场安装以后检漏是确认过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室
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过滤器安装后的现场检漏方法 随着洁净室的广泛使用，对于洁净室过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多，而实际上根据《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）的条文，进行过滤器的安装现场检漏，还有许多问题需要探讨。
目的和原理过滤器现场安装以后检漏是确认过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。
过滤器安装以后必须要进行检漏；要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点；要测量过滤器上游的粒子浓度；根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定 K 值；建议采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。
油雾法起源于德国，和前苏联也实行。测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5µm。标准规定油雾平均重量直径为0.28~0.34µm，对油的种类未做具体规定。相关的标准有：GB6165-85，德国DIN24184-1990。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。德国油雾法已成为历史，德国于1993 年颁布了以计数法为检测方法的，欧洲标准EN-1822就是在德准的基础上制定的。我国只有少数单位使用该方法。
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