因低温对臭氧稳定性的影响很大，所以在低温条件下产生臭氧的工艺研究引起人们的重视。豪特福伊勒（ Hautefeuille) 和夏皮斯（ Chappuis) 在极低温度下通过氧气放电得到高浓度臭氧，在 0℃ 下得到含量为 14.9 ％（质量）的臭氧，在 -23℃ 下臭氧浓度为 21.4 ％。后来通过 -100℃ 下对富臭氧氧气气体施加 125atm （ 1atm=0.1MPa) 压
高温高压蒸汽清洗机
因低温对臭氧稳定性的影响很大，所以在低温条件下产生臭氧的工艺研究引起人们的重视。豪特福伊勒（ Hautefeuille) 和夏皮斯（ Chappuis) 在极低温度下通过氧气放电得到高浓度臭氧，在 0℃ 下得到含量为 14.9 ％（质量）的臭氧，在 -23℃ 下臭氧浓度为 21.4 ％。后来通过 -100℃ 下对富臭氧氧气气体施加 125atm （ 1atm=0.1MPa) 压力，成功地生产出液态臭氧，为深靛蓝色液体。气态臭氧必须在持续冷却地条件下慢慢加压，否则会发生。
臭氧的物理性质
在常温常压下，较低浓度的臭氧是无色气体。当浓度达到15%时，呈现出淡蓝色。臭氧可溶于水，在常温常压下臭氧在水中的溶解度比氧气高约13倍，比空气高25倍。但臭氧水溶液的稳定性受水中所含杂质的影响较大，特别是有金属离子存在时，臭氧可迅速分解为氧气，在纯水中分解较慢。
臭氧的密度是2.14g．l(0°C,0.1MP)。沸点是-111°C,熔点是-192°C。
消菌作用
1、：臭氧具有强氧化性臭氧发生器，无死角。器具（RNA）或（DNA）物质完成的，可达到、、的消毒灭菌目的，直接将臭氧输出口置于无菌室内或空调(HVAC)系统中。所以臭氧被赞誉为“绿色消毒剂”对机器设备无不良影响：臭氧对空所中的浮游菌灭活所需臭氧的浓度很低，6，由于灭菌过程时间短，迅速清除蚊蝇等害虫，是化学熏蒸浓度的500分之一
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