流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定
气体流量控制器厂家
流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。③一定要避免超过使用质量流量控制器范围的情况发生,这会引起仪表测量度的下降,严重时会导致仪表损坏。
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流量控制器在高压条件下如何使用
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。
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流量控制器的控制响应速度
物理时间常数
物理时间常数用希腊字母Tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到:ALICAT用于过程控制的质量流量控制器仪表如果不可靠,容易为调节系统发出错误信息,导致调节系统失调,破坏生产过程的稳定,影响产品的质量、产量和物耗,造成损失。质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示,ALICAT可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。
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流量控制器容易受这几个方面的影响
质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,不用其他设备。可以的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
一、压力状况
在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不20MPa,压力远远大于大气压。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小;流量控制器概述简介质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。气体流经振动管时,存在压降,使得振动管受力不对称,这也对相位差有影响。
二、温度影响
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