采用化学气相法在加热温度为300~500℃下进行试验,加热温度对氧化锌(ZnO)晶体的外观形貌有很重要的影响。氧化锌(ZnO)是一致熔融化合物,熔点为1975℃。由于高温下氧化锌(ZnO)的挥发性很强,传统的提拉法等熔体生长工艺很难获得氧化锌(ZnO)晶体体单晶。目前,氧化锌(ZnO)晶体体单晶的生长方法主要有缓慢冷却法、水热法和气相生长法。采用水热法,可以从KOH和LiOH混
氧化锌ZnO晶体
采用化学气相法在加热温度为300~500℃下进行试验,加热温度对氧化锌(ZnO)晶体的外观形貌有很重要的影响。氧化锌(ZnO)是一致熔融化合物,熔点为1975℃。由于高温下氧化锌(ZnO)的挥发性很强,传统的提拉法等熔体生长工艺很难获得氧化锌(ZnO)晶体体单晶。目前,氧化锌(ZnO)晶体体单晶的生长方法主要有缓慢冷却法、水热法和气相生长法。采用水热法,可以从KOH和LiOH混合水溶液中生长ZnO晶体。晶体呈浅绿色或浅黄色,完整性较好,但尺寸还不够大,难以满足工业应用的需求。
氧化锌(ZnO)的带边发射在紫外区,非常适宜作为白光LED的激发光源材料,凸显了氧化锌(ZnO)在半导体照明工程中的重要地位,氧化锌(ZnO)具有资源丰富、价格低廉、高的化学和热稳定性,更好的抗辐照损伤能力,适合做长寿命器件等多方面的优势。氧化锌(ZnO)晶体随着环境条件的改变形成不同结构的晶体。ZnO晶体中的化学键既有离子键的成分,又有共价键的成分,两种成分的含量差不多,因而使得ZnO晶体中的化学键没有离子晶体那么强,导致其在一定的外界条件下更容易发生晶体结构上的改变。
一种生长氧化锌晶体的方法,在真空下,通入保护气,以氧化锌的粉为粉源,将氧化锌的粉加热使其升华为气体,所述升华的气体在温度梯度作用下被输运到氧化锌籽晶表面且结晶生长.采用升华法生长氧化锌晶体装置,加热速度快,生长室容易达到高真空,可通过改变工艺条件实现对氧化锌晶体尺寸,生长速度的控制,可获得高质量大尺寸氧化锌晶体;克服了现有技术生长速率低的不足,且工艺设备要求简单,成本较低.
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