电子气体流量计规格择优推荐 厚礼博北京精密仪器

什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器特点

1、 稳定的流量供给，不受温度、压力变化

2、 宽量程比，可达100：1

3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级

4、 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

5、 内置70余种气体，触屏式直接操作切换，无需重新校准

6、 标配三种显示方式：数字、模拟和本地面板

如何提高流量控制器的准确度？

提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为：

1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。

2.把好气体质量流量控制器的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。

3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。

4.把好气体质量流量控制器的投用关。

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