种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不
无尘洁净室公司
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。由于静压差的降低，即可降低净化空调系统中新风的处理量，此时不仅可以减少处理为保证静压而需要的新风量所消耗的冷、热量，还可减少风机的电耗，采用变风量运行方式是较为理想的节能方式。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装公司。
洁净车间是一个多功能的综合体，洁净车间工程是一个多学科、多领域、综合性的工程。由于洁净车间工程技术难度高，工程造价大，因此，在实施洁净工程时，一直注重洁净车间的设计。清洁车间的设计一般应遵循“三不一要”的原则。
一、不带入：不向洁净车间带入任何灰尘。
遵循这个原则，洁净车间设计时，应做好如下的工作：
1、过滤器正确安装，不会出现灰尘泄漏的情况。
2、保持洁净车间相对于室外的正压，只能让室内的污染空气出去，不能让室外的空气通过缝隙进入洁净车间。
3、人员进入洁净车间之前，必须做好清洁工作，更换洁净服，并经过风淋室风淋，如此方可进入。
4、材料与设备经清洁后方可进入洁净车间。
（作者： 来源：）
