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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。原因:冷却不良,负载太大解决方法:检查冷却系统,检查真
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。原因:冷却不良,负载太大解决方法:检查冷却系统,检查真空系统广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN TV301分子泵销售电话。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。
新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。1、不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。
对轴承来说,润滑是左右其性能的重要问题。润滑剂或润滑方式的合适与否将大大影响轴承的寿命。如果轴承用的是高品位的润滑脂在正常运行条件下可运行15000小时或两年。原因:负载太大,系统真空度不够解决方法:检查系统分子泵轴承为什么会烧毁原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘。对电机功率大于18.5KW的水泵或在不利的条件下比如环境温度高、空气湿度大、灰尘多、侵蚀性强的工业环境应提前检查轴承,必要时可安排5000小时更换一次润滑脂。
①、泵入口:对正、对称拧紧
②、泵出口:防止错位
③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
注意:环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
分子泵应用常见问题:
1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当,电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。
2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的,请尽.量不必碰触泵壳及控制板,非常是电缆,肯定不可以碰触。
3、当终止分子泵,请先得出关机命令(STOP),待分子泵降速完毕,ROTATION显示灯灭掉(液晶显示器上显示信息STOP,及转速比显示信息为0%),确定分子泵早已终止,才能够断电。如必须拆装线缆,在如上述情况一切正常关机并关闭开关电源后,才能够拆下来线缆,分子泵在一切正常运行时肯定不可以拔下电缆线电源插头。润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同,一般充填至容积的1/3-1/2为宜。VARIAN TV301分子泵销售电话
当碰到出现意外关闭电源时,分子泵会产生警报(POWERFAILURE),这时分子泵会自发电量以保持內部旋转工件维持飘浮情况,另外降速运作(BRAKE),在降速到一定转速比时,自发电量终止,旋转工件坠落(TOUGHDOWN),由维护滚动轴承支撑点再次转动降速直到终止。在分子泵旋转工件掉到维护滚动轴承时,分子泵会传出较为大的响声,这类状况是一切正常的。这种分子泵的维护可具体分为:1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量,并被驱动到泵出口。碰到出现意外关闭电源时,请想方设法尽快地恢复供电系统,如能在五分钟以内修复供电系统,则不容易产生TOUGHDOWN,转动感受修复飘浮情况,重启还可以开展。VARIAN TV301分子泵销售电话
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