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爱德华油式旋片真空泵注液真空系统 惠州明胜机电设备

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爱德华油式旋片真空泵









进口爱德华真空泵油过滤器A22304032

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爱德华过滤器主要作用:真空泵油过滤器是很多进口真空泵配置的一种油过滤装置,主要过滤颗

粒杂质粉尘,保持真空泵油质量,提高真空泵使用寿命。

Edward爱德华半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商,是工业、制

药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术。 这些泵结

构紧凑,使用时非常安静,具备的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以满足特定的应用需

求。


主要从事真空行业,销售真空泵过滤器,真空泵叶片/滑片/石墨碳片,维修包/密封套

件,真空泵维修耗材。选择比其尔的优势;拥有10年以上各类进口真空泵技术,真空泵系统订

制,真空泵维修/保养;如德国BUSCH普旭、德国Becker贝克、德国Rietschle伟力/里其乐、德国天

津Leybold莱宝、法国ALCATEL阿尔卡特、英国Edward爱德华、日本ULVAC爱发科,日本Orion好

利旺等;





化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。轴向干摩擦阻尼远大于径向摩擦阻尼,由于轴向干摩擦会引起系统阻尼的显著增加,因此系统阻尼的变化可作为轴向摩擦的识别特征。制程 还以不同的压力和流量状态运行,其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是:

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。我们的现场服务技术人员具备数千工时的经验,并且参与我们不断进行的培训和认证计划,因此您知道,他们始终是您设备方面的。在某些情况下,粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程,您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵,以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体,当气体分压 增加或与冷表面接触时,这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时, 您将需要非常热的泵,是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性,但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和装配精度进行控制的,也比较容易控制,在此不做过多的介绍。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品,您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程,需要在温度设上 达到平衡,以确保避免任何冷凝问题, 同时不使腐蚀速度过高。




爱德华70#真空泵油应用:

真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用,亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。

供应英国爱德华19号真空泵油,规格4L /208L现货,爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵,看真空泵型号选用油号对用,因为真空泵油粘度不一样。








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