检测项目的步骤
压差检测步骤:
1) 先关闭所有的门。
2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
3) 记录所有数据。压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
1) 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于 5Pa。
2) 洁净室(区)与室外的静压差,不
废水检测费用
检测项目的步骤
压差检测步骤:
1) 先关闭所有的门。
2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
3) 记录所有数据。压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
1) 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于 5Pa。
2) 洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
3) 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
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检测方法介绍
洁净室各项目检测方法总结
过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是
FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。
滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
测试方式有:
1. 气胶光度计测试法, 2. 微粒计数器测试法,3. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
为什么检测要测温湿度
温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内,温湿度对微粒控制没有甚么影响,因此温湿度测试属于第三级测试(
Level 3 )。但是因无尘室多半同时也是环控室,所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量( GeneralTests and Comprehensive Tests),一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据(单一测数据),适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度,目的是要观察温湿度随时间的变化情形,以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。测试仪器在未进入被测区域时,若必需,则先清洁表面,或在相应的洁净室准备和存放(用保护罩或其它适当地外罩保护仪器)3。
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洁净检测的项目
1.紫外强度:
紫外线光强度照度计测定法:
开启紫外线灯5min后,将紫外辐照计探头置于被检紫外线灯下垂直距离1m的处,待仪表稳定后,所示数据即为该紫外线灯管的辐照度值。
2.静电检测:
在表面上人活动区域选定的一组2点间或几组2点间检测,将仪表的两根测试线分别置于EARTH与LINE两端,两个测夹分别于两个标准电极连接,将标准电极置于被测物体的表面上,待仪表稳定后读数,得出两点之间的电阻值。
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