真空系统指该地区大气压的稀簿气体状态，真空度是指处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
干式旋片真空泵及压
普旭R5系列RA160D真空泵维修
真空系统指该地区大气压的稀簿气体状态，真空度是指处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
干式旋片真空泵及压缩机SecoSeco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技术原理。由于使用自润滑旋片，因此无需工作液润滑。完全采用无油干式压缩的方式。通过匹配的材料、腔体内的特殊石墨旋片、有效的排热和的精密加工工艺，得以实现连续运行时的高真空。
三叶罗茨风机依照罗茨系统原理工作：两个平行的转子在泵体内以相反的方向运转。泵送介质被密封在转子和泵腔之间，并通过转子的旋转运动，将其压缩后泵送至排气口。风机入口配备有集成消音功能的进气过滤器。而被压缩介质经风机排放之前，它也将由排气处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方式可使风机转速得到的调节以配合生产工艺。
涡轮分子真空泵普旭（Busch）涡轮分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用涡轮机工作原理。旋转的涡轮叶片在定子叶片之间转动。Turbo这种转动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒，进而将气体分子从进气口通过压缩传送至真空泵的排气口。
扩散真空泵RanguRangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统，经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移，流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结，直接返回机组底部。借助其多阶段、的喷嘴理念，Rangu 扩散真空泵可以提供极高且稳定的抽速。
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(3)扩散泵：以低压高速蒸气流（油或等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：
①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
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