电子束结构介绍
粒子增速器的结构可以与显像管类比。显像管中的电子枪对应于增速器的电子枪或离子源,显像管中加速电子用的高压电极对应于增速器中的高压加速电极及加速腔。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢,厚度≥1mm),镀膜室及前开门材质:304真空不锈钢,镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术。显像管中控制电子运动的电偏转板与聚焦电子
电子束蒸发镀膜设备报价
电子束结构介绍
粒子增速器的结构可以与显像管类比。显像管中的电子枪对应于增速器的电子枪或离子源,显像管中加速电子用的高压电极对应于增速器中的高压加速电极及加速腔。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢,厚度≥1mm),镀膜室及前开门材质:304真空不锈钢,镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术。显像管中控制电子运动的电偏转板与聚焦电子的聚焦线圈,对应于增速器中控制粒子运动轨道和聚焦粒子束流的多种电磁部件,如导向磁铁、聚焦磁铁、多极校正磁铁等。对粒子增速器的粒子运行管道来说,为了减少粒子在运动中与残余气体碰撞而造成粒子的丢失和束流性能变坏,所要求的真空度比显像管要高数千到数万倍。随着科学技术的不断发展,根据科学家对粒子能量和流强的不同要求,陆续产生了不同原理、不同结构的多种增速器。
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电子束操作及注意事项
①电子枪工作前必须检查水流是否正常,工作过程中务必保证水压、水流量指示,否则将造成坩埚损坏。
②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。
③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热,预热电流为0.6A,预热时间新阴极5分钟以上(应缓慢调至0.6A,以防阴极变形),旧阴极2分钟即可。
④蒸发前对材料先预热除气。
⑤蒸发完后,按下列顺序关闭高压电源:关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源,工作时操作顺序与此顺序相反。
⑥电子枪灯丝停止加热后,要停留10分钟以上才能向蒸发室放气
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电子束蒸发镀膜的优势
电子束蒸发的优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。
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