1现代化的工业生产对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，对于电子芯片厂房，如果湿度不能满足要求，将会静电，使产品的成品率下降、芯片受损，严重影响企业生产。
本工程为集成电路产品的生产项目，洁净区平面为岛型布置，操作区洁净度为4，5级， 由于生产工艺的要求，对温、湿度的要求很高：温度21℃ ±0．5℃ ，相对湿度40％ ± 3％ ；设备区洁净度为5．5级，无特定温、湿度要
高压微雾加湿器厂家
1现代化的工业生产对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，对于电子芯片厂房，如果湿度不能满足要求，将会静电，使产品的成品率下降、芯片受损，严重影响企业生产。
本工程为集成电路产品的生产项目，洁净区平面为岛型布置，操作区洁净度为4，5级， 由于生产工艺的要求，对温、湿度的要求很高：温度21℃ ±0．5℃ ，相对湿度40％ ± 3％ ；设备区洁净度为5．5级，无特定温、湿度要求。净化空调系统采用风机过滤单元(FFU)+干表冷器+新风处理机组的型式。操作区为送风区，设备区为回风区。根据热、湿交换理论，在实际工程中我们将加湿器分为以下两种：1、等焓加湿器：即利用水吸收空气的显热进行蒸发加湿，其在焓、湿图上的变化为近似等焓过程。冷源分为两种：低温冷冻水(0℃～5 oC)， 中温冷冻水(12℃～16℃)；热源为38℃～32℃ 的热水， 由热水锅炉和带热回收的冷冻机组提供。洁净区的温度由干表冷器控制，相对湿度由新风处理机组控制。
2 加湿方案选择
由于热源使用热水，没有蒸汽系统， 出于减少系统种类的考虑，首先选择非蒸气的加湿方式。淋水室加湿为等焓加湿，在加湿过程中不仅可以清洁新风，部分去除新风中的灰尘；还可以使新风中的一部分化学物质溶解于水， 降低新风中的化学物质的含量。淋水室全年运行，冬季用于加湿、清洁新风，夏季则起到清洁新风的作用。淋水室的缺点是占用空间大，在新风处理机组中长度为1．9 m；与空气直接接触，易受污染变脏，需要定期排污。它通过采用工业级别的柱塞泵把水加压至6MPa后，由管线送至喷嘴，喷嘴孔径0。新风处理机组由初效过滤器、中效过滤器、一级加热盘管、一级冷却盘管(使用12℃～16℃ 中温冷冻水)、淋水室、二级冷却盘管(使用0℃～5℃低温温冷冻水)、送风机、二级加热盘管、过滤器组成。新风处理机组的组段方式见图1。
对于高压喷雾加湿器存在一个问题，该加湿器由几个水泵组成，通过启停水泵的数量来调节加湿量，所以加湿量会呈现脉动波动。设置电热式加湿器进行精调节，无法在短时间内弥补该加湿量的波动对房间相对湿度的影响。例如本项目单台新风机组的加湿量为240 kg／h，高压喷雾加湿器的加湿量为180 kg／h，电热式加湿器的加湿量为60 kg／h。喷雾量大，每小时90--900KG，可满足6000m3以下的空间加湿。如果高压喷雾加湿器设置5个水泵，单台水泵的流量为36 kg／h， 电热式加湿器是无法瞬间调节36 kg／h加湿量的变化，这样房间的相对湿度就会在一段时间内发生波动。同时电热加湿器需要耗费大量的电能，运行费用高。所以该方案也不能满足本项目的要求。
高压微雾加湿器可采用可控硅控制，实现比例调节，与电热式加湿器组合满足本项目的要求，但由于高压微雾加湿器的价格较高，所以也没有采用该方案。
髙压喷雾加湿喷头每秒钟能造成50亿次细颗粒物，细颗粒物的直徑仅为1～15μm,好似山间云雾缭绕，加湿减温效果非常好。应用喷雾系统时其目地取决于使喷雾系统生产制造的雾颗粒未触碰到路面之前就可以蒸发，能做到此目地的方式是将雾颗粒变成愈小愈好。防静电原理物质都是由分子构成，分子是由原子构成，原子中有带负电荷的电子和带正电荷的质子构成。雾颗粒越小，就雾颗粒的总数来讲，雾颗粒的面积愈大，結果雾颗粒蒸发率愈高，能够做到的加湿效果愈好。此类喷雾系统造成的雾点直徑均值约10μm(0.01mm)，因为容积很小(为一般人头发直径的1/10)，重量较轻，能够象当然雾般匀称外扩散飘浮，因此即便在空气湿度较高的地域也可以被气体消化吸收，充分运用加湿的效果。喷头喷嘴越小，喷出来雾点越密蒸发越迅速，制冷效果越好。
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