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光波超精密——空气气浮轴承

气浮导轨的工作原理？

气浮导轨基于空气轴承bai的基本原理，实现无摩擦du和无振动的平滑zhi移动。它具有运动精度高、清dao洁无污染等特点。同时还具有误差均化作用，因而可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。气浮导轨在体润滑分析的表现上看，直线气浮导轨的承载能力、气体流量均有超常规表现，特别是zui关键的性能指标——位移精度上，相对于传统导轨有着成数量级的比较优势，精密机械、测量仪器等领域普及使用气浮导轨将是行业发展的必然趋势。

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气静轴承力膜的形成与运动过程无关，因此，当连接气源时，承力膜始终处于流体摩擦状态。气浮轴承分为径向气浮轴承、推力气浮轴承和球气浮轴承等。单用的推气式气体轴承一般称为平面气体轴承或气浮垫，主要用于实现线性运动，如各种类型的精密气浮式线性运动平台，高频高转速线性驱动，无接触静压气浮式输送系统等；单用的推气式气体轴承与径向气体轴承组合用于实现旋转运动，如各种类型的精密气浮台，高速气浮电主轴，气浮主轴等；单用的推气式气体轴承一般用于实现气浮套，除转动外还可实现沿轴向滑动。静压i轴承广泛应用于精密和超精密设备，如集成电路制造设备，平面显示器制造设备，半导体制造设备，电子制造设备，太阳能电池制造设备，新型元件制造设备，检测和测量设备，医i疗设备，机床等。

气浮轴承(又称空气轴承)是指以气体(通常为空气，但也有可能是其他气体)为润滑剂的滑动轴承。气溶胶比油粘性小，耐高温，无污染，但它的载重量比油少。

根据空气的固有特性(粘度低，随温度变化小，抗辐射等)，在高速、低摩擦、高温、低温和辐射性强的环境下，气浮轴承具有的优势。例如高速磨头、高速离心分离器、陀螺仪、用于冷却原子反应堆的压气机、高速鼓风机、电子计算机记忆装置等技术，突破了由于采用气浮轴承而无法用滚动轴承或油膜轴承解决的难题。

空气浮力轴承具有极高的径向和轴向旋转精度。在无机械接触的情况下，使磨损降到zui小，从而确保精度始终稳定。

空气浮子轴承内部的低剪切力，可以zui大限度地减少动力损失，并且在提供极高转速时，产生的热量很小。每分钟速度可超过300,000转。

足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度（static stiffness ），但有些情况下也必须考虑倾侧刚度（tilt stiffness），否则系统可能也无法达到设计性能指标要求。选择时应注意比较不同厂商空气静压i轴承在同样条件下（规格、气隙、供气压力）的刚度。