Parylene气相沉积涂敷工艺 在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所
塑料真空镀膜
Parylene气相沉积涂敷工艺
在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时,在工作上有很强的渗透性,能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,真正形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

脆弱的、标本等可用Parylene加固保护、延长寿命
脆弱的、标本等可用Parylene加固保护、延长寿命上千年甚至上万年,被誉为是一种可给考古界带来一场变革的新型保护材料,能解决其它材料不能解决的保护问题。通过Parylene真空涂敷,可使过火的纸张和书籍加固,防止进一步损坏。因为Parylene的能力可以涂敷纸张中的每根纤维。易破碎的人工制品可以被加固和检测以避免进一步的损坏。
作为珍贵照片或图片的保护材料,parylene涂层可在不改变它们的外观的情况下,同样大大延长其寿命。

派瑞林镀膜的保护作用
1.抗酸碱腐蚀,能解决受酸性或碱性物质腐蚀的问题。
2.低水、气体渗透性、具高屏障效果,能达到防潮、防水、防锈及减缓风化等作用。
3.耐(不溶解于一般溶剂)。
4.膜层无色、具高透明度,不影响产品原本外观。
5. 膜层具防尘、防潮、防水的耐透气性效果,可使产品达到国际性防尘、防水的IP等级规范。
东莞菱威纳米,立足智能、绿色、服务的经营理念,充分利用开放式合作平台,为客户提供体验式技术服务,积极探索发展新模式,融入智造产业链整合。
派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳键断裂
常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD),反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应,在固态基体表面直接生成固态物质,进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳碳键断裂,生成具有活性的对二亚苯单体,当其从高温环境进入室温环境的沉积室时,不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步:单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。

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