电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容,请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置:
★样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)
★蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体:高真空系统。
★蒸发不均匀性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋转,转速可调
★加热:
电子束镀膜机厂家
电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容,请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置:
★样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)
★蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体:高真空系统。
★蒸发不均匀性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋转,转速可调
★加热:常规加热
★电子枪:E型,带XY偏转扫描
★电子枪坩埚:6穴,17cc
★膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能:可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能:可选配光控仪
★操作模式:全自动+半自动控制
电子束蒸发镀膜机设备性能介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电子束产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
设备性能技术指标:
1、设备极限真空度:5×10-5Pa(电子枪静止状态)。
2、设备总体漏放率:关机12小时后,真空度≤8Pa。
3、从大气到抽到≤9×10-4Pa,40min(新设备充干燥氮气),提高了工作效率。
4、真空漏率:≤10-7Pa.l/s
电子束蒸发镀膜机安装介绍
安装台架:整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上,此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架:碳钢制作,表面喷塑处理,不锈钢面板,支撑真空腔体及真空系统,底下配脚轮,方便移动、定位。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验,专注电子束产品研发定制与生产,的电子束产品生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!
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