由于派瑞林parylene涂层具有如下性能,广泛适用于产品中
parylene涂层符合ISO-10993生物实验要求
parylene涂层符合FDA G95-1
parylene符合(ROHS)2002/95/EC
生物兼容性和生物稳定性
派瑞林Parylene涂层采用的真空气相沉积工艺制备,其制备过程如下:首先,在真空条件
彩色真空镀膜
由于派瑞林parylene涂层具有如下性能,广泛适用于产品中
parylene涂层符合ISO-10993生物实验要求
parylene涂层符合FDA G95-1
parylene符合(ROHS)2002/95/EC
生物兼容性和生物稳定性
派瑞林Parylene涂层采用的真空气相沉积工艺制备,其制备过程如下:首先,在真空条件下固态派瑞林原料在130℃升华气化,然后在680℃高温下,将气态双份子裂解成活性单体;*在真空常温下,气态单体在基体上生长聚合,在基材表面“生长”出完全敷形的派瑞林聚合物薄膜涂层,该涂层具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,裂缝里和内表面。
什么是派瑞林
它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜,真空镀膜压力在10-5托以下,而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间,该涂层是美国在60年代初开发的专利,应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域,1972年被纳入美准:MIL-I-46058C

微纳米加工技术:化学气相沉积工艺(CVD)
将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室,通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子,在真空(1.0*10-2torr)作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室,在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体,活性单体与单体之间重新聚合,形成一层致密无的纳米膜层。
ParyleneC和ParyleneN的薄膜击穿电压
Parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。图3画出了相干的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据注解,两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一样平常将升高。
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