泰州光栅气浮导轨生产厂家询问报价【光波超精密】

光波超精密技术研究院——光栅气浮导轨生产厂家

在两个互相运动的平面之间有一个空隙 h (通常是几个微米到几十个微米)，被支撑件的下平面上有一个面积一定的气腔(气腔直径为 d)，气体通过节流器(节流器直径为 d)进入气腔，这样被支撑件①就在气压作用下，被支撑件②就在支撑件②上滑动，使被支撑件①在气缸中形成气浮支撑.当高压气体处于一定压力下时，气浮支撑件①就在气浮中形成。进气腔通过节流器流动时，压力下降到 P。当气腔和间隙两部分所占的面积需要合理设计时，系统就可以使间隙基本保持恒定，并使之处于力平衡状态.但是当外加载 F突然增大时，间隙就会立即减小.因为流经间隙的流量与外加载 F成正比，流速就会大大降低，从而使外加载 F自动增大.

光波超精密气浮导轨——光栅气浮导轨生产厂家

气浮导轨z大ui的不同之处就是我们把滑轨和滑块结合起来的机制。利用真空复i制使载体台架在导轨上，消除了振动和谐波噪声。极i好的稳定性、平直性和刚度由此得到保证，保证了每一次实现纳米级定位。

使用空气可大大减少运行时的维护情况。不但不需要进行繁重的润滑要求，而且污染和除气问题也已经过时。

与纳米级精i确度相比，高速操作可同时提高产量和质量，与传统润滑油相比，空气处理可解决污染和除气问题，是洁净室操作的理想选择采用多孔介质技术，使空气分布均匀，不但具有亚纳米级的精度，而且具有内在的防撞设计，以zui大程度地减少潜在损坏，减少维修停机时间，提高操作效率

气浮导轨副由气浮块和承导面组成，每个承导面至少有两个气浮块，气浮块与承导面间隙中气体压力 p的分布状态能左右气浮块的性能。通过这个实验台的实验测量得到：供气量一定时，气浮块所受负荷增大，气浮厚度减小；当负荷减少时，气浮厚度增大。

工作台常用导轨有滚动导轨、静压力导轨等，滚动导轨的使用已有多年历史，滚动导轨的运动精度可达微米级，摩擦系数可降至0.002~0.003。滚动式导轨具有滚动摩擦阻力小，不存在爬行漂浮现象，但其摩擦系数大，抗冲击性能差，运动不平稳，使用寿命低等优点，在实际应用中还存在不足。

机导是传动系统运动的基础，也是传动系统的关键部件之一.由于空气粘性低，不易爬行、振动小、热稳定性好、不污染环境等优点，因此本试验装置采用空气静压导轨设计.空气静压导轨是将具有一定压力的空气通过节流器送入导轨间隙，通过静压使导轨悬浮起来，在导轨面之间形成一层极薄的气膜，气膜厚度基本保持恒定。

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大理石气浮导轨对材料的要求

大理石气浮导轨的制作采用了是空气静压zhou轴承技术,因此它具有轴/径向跳动小、重复定位精度高、加载驱动力小、能在高转速下平稳工作等特性.为了保证气浮导轨具备这些性能,在选用制作材料时要求它具有以下特征:

1.导热性要好,随时间及空间改变,温度随之改变进而造成构件内部的温度梯度,引起机器结构的扭转和弯曲;

2.热膨胀系数要小,避免在温度-变化下产生过大的伸长缩短;

3.要具有比较大的弹性,避免花岗石气浮导轨在受力后出现较大的变形;

4.要有着较高的硬度及耐研磨性,保证在加工及使用中都不会轻易划伤、磨损;

5.具有较高的强度,在①定的力量范围内不易断裂;

6.对于运动部分的材料,在密度上要小,保证由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力不会造成损伤;

7.考虑材料吸水率小,以免受潮变形(质量差的花岗石,由于吸水,足以引起微米级的变形);

8.工艺性好,易于加工,成本要低.

作为超精密测量、超精密加工和半导体光刻等领域的重要应用,花岗石气浮导轨的材料具备上述性能才能在使用中正常发挥作用.