机械冲孔形成的微通孔
当冲模开口因磨损超过某一值时, 微通孔背面的开口就会增加很大, 此时应该更换冲模。影响微通孔质量的另一因素是通孔内的残余物, 它是残留在通孔开口中的一小片LTCC 瓷带残余, 在冲孔时没有完全除去。些残余物主要在LTCC 生瓷带层的背面, 与通孔边缘相连, 一般为10-25μm。含有残余物的通孔数量随着通孔尺寸的增大而减少,而残余物的含量与瓷带厚度
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机械冲孔形成的微通孔
当冲模开口因磨损超过某一值时, 微通孔背面的开口就会增加很大, 此时应该更换冲模。影响微通孔质量的另一因素是通孔内的残余物, 它是残留在通孔开口中的一小片LTCC 瓷带残余, 在冲孔时没有完全除去。些残余物主要在LTCC 生瓷带层的背面, 与通孔边缘相连, 一般为10-25μm。含有残余物的通孔数量随着通孔尺寸的增大而减少,而残余物的含量与瓷带厚度无关。

信号需要被尽可能地衰减。
作为系统中重要的组成部分,对于其小型化、、低成本、易集成等诸多方面的要求越来越严格。如何综合实现诸多要求的滤波器,必然成为今后研究的重要热点之一为了对100μm及以下的通孔进行高质量的填充, 需要进行多重印刷, 提高压力并改善其他设置。为了满足75-150μm 通孔无缺陷的填充, 还需对印刷浆料量进行校正, 根据通孔的尺寸改变模版孔的开口。数控冲床冲孔是对生瓷带打孔的一种较好方法, 特别对定型产品来说, 冲孔更为有利。用冲床模具可一次冲出上千个孔, 其孔径可达50μm,打孔速度快、精度较高、适合于批量生产。

LTCC 瓷带正面的通孔开口大小与瓷带厚度无关, 瓷带背面的通孔尺寸随着厚度的增加而减小。这是因为激光束的精度不够, 形成的通孔呈现出圆锥形。目前的集成封装技术主要有薄膜技术、硅片半导体技术、多层电路板技术以及LTCC技术。LTCC技术是一种低成本封装的解决方法,具有研制周期短的特点。不同厚度的LTCC 瓷带所制作的微通孔大小也是一致的, 即瓷带厚度与通孔大小的比率对通孔质量不会有影响。使用机械冲孔的方法, 在厚度为50-254μm的不同LTCC 瓷带上形成的50, 75 和100μm 的微通孔。
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