100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点，但是设备价格高令一些中小厂家难以承受，维护费用也很高。其次，实验室有时候也会有叉车等工具进出，
无菌洁净室
100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点，但是设备价格高令一些中小厂家难以承受，维护费用也很高。其次，实验室有时候也会有叉车等工具进出，这对地面的强度也就有了比较高的要求。
风道长度较长时,风道长度方向为高频消声提供了较大的自然衰减量,为低频消声不足而设置的低频消声器宜装在出风口附近。设计选用阻性消声器时,应防止高频失效的影响。当管径小于300mm时,可选用直管式消声器,大于300mm时,应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。对于高温、高压、高速排气放空噪声,应设计和选用节流降1压小孔喷注放空消声器。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。
管道通过围护结构时，首先要有良好的固定结构，在使用过程中不得晃动或移位，以保证密封效果。安装定位和密封处理应有机结合。在金属墙板上开的每个孔的周边均应附定位框架，大型风管的加固应防止前后左右移动。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。洁净室的内部装修所用的材料和组件应符合设计要求，不符合要求的外购件应符合质量和标准。金属壁板应符合标准规范要求，并应有书和性能试验报告，包括防火报告和合格证。施工总体原则:（1）建筑装饰遵循不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉、容易清洁和符合防火要求的总原则。
为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。
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