淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。我公司的主要产品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水环式真空泵等,广泛应用于石油、化工、电子、机械、冶金、矿山、食品、印刷等各个领域。
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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。我公司的主要产品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水环式真空泵等,广泛应用于石油、化工、电子、机械、冶金、矿山、食品、印刷等各个领域。
水环真空泵的压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的压力工艺要求约一个数量级。都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。
水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。
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应避免在水环真空泵的大真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。
水环真空泵尽可能要求在区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:
半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。
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