Parylene气相沉积涂敷工艺 在微电子领域，近些年Parylene应用发展较快，真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene，更被国外集成电路研究者所
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Parylene气相沉积涂敷工艺
在微电子领域，近些年Parylene应用发展较快，真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene，更被国外集成电路研究者所青睐，用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工作上有很强的渗透性，能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中，真正形成完全敷形，均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有，气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面加固，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。
Parylene N是一种很好的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有Parylene中穿透能力的一种，有很好的自润滑性，摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求，符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
Parylene C是系列中第二个具有商业价值的成员。其将良好的电性能，物理性能结合在一起，并且对于潮湿和其它腐蚀性气体具有低渗透性。可以提供真正的无覆形隔离外，是涂敷重要电路板的材料。符合ISO-10993生物试验要求，符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
Parylene是以活性分子在真空的条件下于对象表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装到任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角、隙缝内部与极细微的中，膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位，薄膜厚度由0.001mm-0.05mm，是世界较薄的涂装之一。
东莞菱威纳米科技有限公司是一家从事真空涂覆（parylene coating）的制造型企业。制造原理：将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子，再进行表面真空镀膜处理。产品特征：经过真空涂覆的产品可达到0.1至100微米的均匀薄膜涂层、无、耐酸碱、抗盐雾、抗高压、生物兼容、透明无应力、不含助剂、不损伤工件，是目前更理想的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的绝缘涂层材料。
Parylene特别适合用于铁氧体材料(磁环、磁芯)等电子组件的镀膜，镀膜后的电子组件其涂膜附着力强、性好、硬度高、抗高电压绝缘性强，漆膜外观细腻均匀、柔滑。耐漆包线的绕线性强，漆膜不裂伤。同时可以增加铁氧体等磁性材料的介电性及耐高压性能，可以克服普通环氧树脂喷涂处理后不耐酸、磨等方面的缺陷。
铁氧体磁性材料及稀土永磁：高导磁软磁铁氧体小磁芯体积小、性能高、用量大；这些产品的表面必须采用Parylene来涂上一层保护层，以增强产品表面的绝缘性、坚固性、光滑性。这种涂层是传统的还氧喷涂所无法达到的；稀土永磁产品在汽车、音箱、磁疗、电机等领域的运用越来越广泛。但是这类产品表面的耐腐蚀要求非常高。普通的电镀、电泳处理的后的产品的耐盐雾时间仅能达到70-100小时。
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