电子束镀膜原理
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子束蒸发镀膜机安装介绍安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达109w/cm2，加
电子束蒸发镀膜机价格
电子束镀膜原理
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子束蒸发镀膜机安装介绍安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率较高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。
电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍
1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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电子束镀膜有哪些特点？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。
★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；
★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★可沉积金属（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。
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