无论是电子厂净化车间内部还是外界环境，在错误的时间地点出现的物质(固态、液态、气态、生物菌毒)物理的(静电微震、电磁波、辐射)等危险因素，对人和外界环境动植物会造成很大危害。电子厂净化车间的特点：电子厂净化车间等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外电子厂净化车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成
净化工程造价
无论是电子厂净化车间内部还是外界环境，在错误的时间地点出现的物质(固态、液态、气态、生物菌毒)物理的(静电微震、电磁波、辐射)等危险因素，对人和外界环境动植物会造成很大危害。电子厂净化车间的特点：电子厂净化车间等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外电子厂净化车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂净化车间的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子厂净化车间的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、万级电子厂净化车间内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)。2、电子厂净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。3、电子厂净化车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。4、电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。(2)保证供给电子厂净化车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。(3)电子厂净化车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项大值：保证净化车间空气洁净度等级的送风量;根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室内给的新鲜空气量。
工业洁净室电气设备近年来，以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着，在这些的技术领域中，日新月异地进行技术革新，并把产品的微细化、高质量化、超精密化作为目标，而且为了谋求生产的、高质量而建造高质量的洁净室。用于超大规模集成电路（VLS1）、钟表、精密机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配、食品生产的各类洁净室，根据生产用途不同，而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备，因为有下述各种情况，必须精心设计、精心施工。
其次是电子车间的人员净化，在洁净室的入口应当设有风淋室，单人风淋室应按班人数的30人设一台，风淋室的进、出门不得同时开启，应当选用联锁控制措施。如果是洁净室内的设备与物料出入口，应当独立设置，并且同样应当设立货淋室。而如果物料或者产品的传递需要在不同级别的洁净车间中传递，则应当设立传递窗。
后是不同洁净室之间的静压差与净化参数问题，不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa，在洁净区域与非洁净区域之间的静压差也同样需要大于5Pa。一个净化车间的换气次数根据洁净室的等级来决定，不同等级的洁净车间的换气次数不同，洁净等级越高的净化车间每小时的换气次数越频繁。
（作者： 来源：）
