PLD450型脉冲激光镀膜介绍
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产脉冲激光沉积,欢迎新老客户莅临。
技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф450球型真空
激光脉冲沉积设备报价
PLD450型脉冲激光镀膜介绍
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产脉冲激光沉积,欢迎新老客户莅临。
技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф450球型真空室 ,
基片尺寸:可放置4″可实现公转换靶位描等基片加热可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm可调。
二维扫描机械平台,执行两自由度扫描,控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫,
质量流量控制器1路
烘烤温度:150℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到800℃)
脉冲激光沉积原理
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享脉冲激光沉积的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助。想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话或关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站!
脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积系统的特点有哪些?
超高真空不锈钢腔体
可集成热蒸发源或溅射源
可旋转的耐氧化基片加热台
流量计或针阀准确控制气体流量
标准真空计 干泵与分子泵
可选配不锈钢进样室
可选配基片-靶材距离自动控制系统
是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多脉冲激光沉积的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
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