无尘车间无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可获得较高的洁净度,在生产中或工作人员所产生的尘埃可排出室外并不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
无尘车间复合式(MixedType):复合式是将乱流式及层流
电子洁净车间设计
无尘车间
无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可获得较高的洁净度,在生产中或工作人员所产生的尘埃可排出室外并不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
无尘车间
复合式(MixedType):复合式是将乱流式及层流式予以复合并用,可提供局部超洁净空气。●无尘车间洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及,超大规模集成电路生产大都采用此种型式。
包括墙板、地板、顶板、送风系统和出风系统,其特征在于:所述地板和顶板分别位于墙的底端和顶端,所述墙板与地板和顶板固定连接,所述顶板的上表面设有送风系统,所述墙板的侧壁设有出风系统;所述送风系统包括净化空调机组、送风管和分流板,所述净化空调机组位于墙板的外侧,所述分流板固定在顶板的内部,所述分流板与净化空调机组之间通过送风管固定连接,所述分流板的下方设有出风口,所述出风口的底部设有固定支架,所述固定支架的底部设有螺旋叶片;所述出风系统包括排风机、吸风管和回风管,所述排风机位于地板的中心处,所述吸风管位于墙板的四角处,所述吸风管的端部与回风管的一端固定连接,所述回风管的另一端与排风机固定连接。.根据权利要求1所述的无尘车间厂房,其特征在于:所述吸风管的内部设有吸附滤网和防尘网,所述防尘网位于吸附滤网的左侧。.根据权利要求1所述的无尘车间厂房,其特征在于:所述出风口呈圆筒状均匀分布于分流板的底部。4.根据权利要求1所述的无尘车间厂房,其特征在于:所述分流板的内部设有通风流道,所述通风流道与出风口连通。5.根据权利要求1所述的无尘车间厂房,其特征在于:所述排风机顶部设有圆形排风口
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