电子束操作及注意事项
①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。
②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。
③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。
④蒸发前对材料先预热除气。
⑤蒸发完后，按下列顺序
电子束蒸发镀膜机公司
电子束操作及注意事项
①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。
②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。
③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。
④蒸发前对材料先预热除气。
⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。
⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气
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电子束蒸发镀膜机产品介绍
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产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
电子束镀膜机介绍
* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片RF/DC偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
* 用于反应蒸镀的MFC
* 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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