变压吸附制氧机主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被罗茨鼓风机增压至0.3-0.5barg而进入其中一只吸附器内。当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度,其中的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反),真空度为0。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口
小型变压吸附制氧机
变压吸附制氧机主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被罗茨鼓风机增压至0.3-0.5barg而进入其中一只吸附器内。当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度,其中的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反),真空度为0。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附,随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。
对于实际的分离过程，还必须考虑空气中其他微量组分。二氧化碳和水在通常的吸附剂上的吸附能力一般比氮和氧都大得多，可在吸附床内填加合适的吸附剂(或利用制氧吸附剂本身)使其被吸附清除。
制氧装置所需要的吸附塔数目取决于制氧规模、吸附剂性能和工艺设计思路，操作时运行平稳性相对更好一些，但设备投资较高。目前的趋势是：使用制氧吸附剂尽量减少吸附塔数量并采用短操作周期，以提高装置的效率并尽可能节约投资。
均压完毕后，紧缩空气经过空气进气阀、右进气阀psa制氮装置进入右吸附塔，紧缩空气中的氮分子被沸石分子筛吸附，富集的氧气经过右产气阀、氧气产气阀进入氧气储罐，这个进程称之为右吸，持续时刻为几十秒。一起左吸附塔中沸石分子筛吸附的氧气经过左排气阀释放回大气傍边，此进程称之为解吸。工业制氧机分子筛吸附率高，出氧率高达93-99%，是工业、医学等领域佳选择。
反之左塔吸附时右塔一起也在解吸。为使分子筛中psa制氧装置释放出的氮气排放到大气中，氧气经过一个常开的反吹阀吹扫正在解吸的吸附塔，把塔内的氮气吹出吸附塔。这个进程称之为反吹，它与解吸是一起进行的。右吸完毕后，进入均压进程，再切换到左吸进程，一向循进行下去，然后接连产出高纯度的商品氧气。
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