Parylene气相沉积涂敷工艺 在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所
派瑞林绝缘涂层
Parylene气相沉积涂敷工艺
在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时,在工作上有很强的渗透性,能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,真正形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

随着信息产业的不断发展,磁性元件越来越趋向于小型化,3-5㎜的软磁芯,2-3㎜的稀土永磁材料,甚至尺寸更小的磁材都不断被应用,对磁材的防护提出了新的要求。小型软磁芯作饶线器件时,经聚对二涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的电压,由于聚对二摩擦系数低,饶成操会更滑溜,不伤线,更便于操作,稀土钕铁硼永磁材料是一种强磁材料。
派瑞林涂层材料与派瑞林镀膜加工有哪些优势?
派瑞林涂层材料,厚度均匀的透明绝缘涂层,给元件提供一个完整的防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。而派瑞林镀膜加工,使物件外表镀制金属膜层,将有机资料和无机资料结合起来,提高了它的物理性能以及改变产品外观。
东莞菱威纳米,作为【派瑞林】行业的者和开拓者,致力于【真空纳米镀膜技术】及【镀膜设备】的生产和研发,带领商业模式变革,建立从基础研究、工程化设计、产业化生产的全产业链平台,通过自主、自主研发,实现工业4.0产业革命,努力打造自动真空镀膜产线,成为智能化、自动化、工程化的【派瑞林镀膜】一站式解决方案供应商。
parylene的历史要追溯到1947年,Parylene(中文称:派瑞林、聚对二,或派瑞林堤对一系列独 特的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对二,是一种完全线性的高度结晶结构的材料
1998年中科院光机所在西安进口了di 一台parylene涂敷机,开始了对Parylene这项新兴技术的研究发展,2001年-2006年苏州凯瑞的前身拉奇公司在江苏吴江成立的parylene涂覆公司,随着技术的交流和发展,的parylene技术日新月异的蓬勃发展。
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