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良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。另外，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性（水分离性能）。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。
粘的油随温度的变化而粘度变化也大，也就是粘度指数低，粘度指数是真空泵油的重要 1.6×10-5 、4.0×10-5、 1.6×l0-5指标。粘度指数高的泵油其粘度与温度之间的变化较少。而且冷泵启动容易，有显著节约能耗作用，特别在夏季，随着环境温度和泵内油温的上升，该油极限压力能保持良好效果。
水环式真空泵工作原理如原理图：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中指示的方向顺时针旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。
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蒸气流泵前级配备
该类泵包含油扩散泵、油外扩散喷射泵及其增扩泵等。在主泵容许的较大 排气管工作压力下，前级泵需将主泵造成的较大 汽体量立即吸走，即前级泵的合理泵效务必考虑：Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型；
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