电子束蒸发镀膜机的用途
电子束蒸发沉积镀膜设备,具有有机材料沉积和金属材料沉积成膜功能。它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。这说明,电子在这台增速器里速度几乎没有增加,而能量增加了4倍。可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.
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电子束蒸发镀膜设备厂家
电子束蒸发镀膜机的用途
电子束蒸发沉积镀膜设备,具有有机材料沉积和金属材料沉积成膜功能。它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。这说明,电子在这台增速器里速度几乎没有增加,而能量增加了4倍。可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.
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电子束镀膜有哪些特点?
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
★ 完全封闭的系统框架设计,外观更漂亮,使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;
★ 前开门真空腔体,方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;
★可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板;基片台公转,转速0~25rpm连续可调;平板基底衬底可选择加热或水冷;
★ 更优的薄膜均匀性和重复性,采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
★可沉积金属(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有机物材料(进口电子枪)。
电子束镀膜属于蒸镀还是溅射?
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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(PVD)的工艺方法。
2.蒸发镀主要包括:电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。
3.您所说的E型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。
4.S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶,阴极靶材为环状锥形,安装在水冷座上。★更优的薄膜均匀性和重复性,采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场,其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动,电子流密度很大,在靶面附近产生很强的非弹性碰撞,电离几率很大,形成很强的等离子体。
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