电机与真空泵体之间用联轴器连接，如不处同一直线上，就称为轴系不对中。通常所讲的不对中多指真空泵轴系不对中。造成轴系不对中的原因有安装误差、温度变化热变形、基础沉降不均以及缓冲垫失效等。对于不对中，将导致真空泵轴向、径向交变力，引起真空泵轴向振动和径向振动。由于不对中引起的振动会随不对中严重程度的增加而增加，从而产生噪音。
超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声
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电机与真空泵体之间用联轴器连接，如不处同一直线上，就称为轴系不对中。通常所讲的不对中多指真空泵轴系不对中。造成轴系不对中的原因有安装误差、温度变化热变形、基础沉降不均以及缓冲垫失效等。对于不对中，将导致真空泵轴向、径向交变力，引起真空泵轴向振动和径向振动。由于不对中引起的振动会随不对中严重程度的增加而增加，从而产生噪音。
超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。振动使介质时而稀疏，时而闭合，稀疏时形成瞬时的空隙；闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压，这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜，使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。
超声波清洗可以去掉零件上孔内部的污染物，这是一般清洗方法所无法实现的，超声波清洗的溶液可以用水和其它溶剂，若用三会有更好的去油效果，常用工作频率为4～10MHz。
在普旭真空泵维修过程中，由于真空泵长时间停用，也可能发生跳闸。如果长时间停用电机负载，临时电流将过高。此时，可以关闭真空泵的进气口来加热泵体。在普旭真空泵的维护期间，由于真空泵电机连接到两相电源，也可能发生跳闸。如果三相电源没有启动，可以接通真空泵的三相电源。如果运行约10小时后出现跳闸和脱扣，应调整电流上限。普旭真空泵在维护过程中，也可能由于真空泵排气口吸入异物或杂质、电机负载、检查内部是否有故障的可拆卸真空泵等造成跳闸现象。
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