温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的准确要求为亚微米。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24u
单人风淋室设备
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的准确要求为亚微米。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
无尘车间
1. 空气洁净高度的房间或区域宜布置在人员少到达的地方，并宜靠近空调机房。不同洁净级别的房间或区域宜按空气洁净度的高低由里及外布置；洁净度相同的房间或区域的布置则宜相对集中。洁净度不同的房间之间相互联系时，要防止交叉污染的措施，如气闸室、空气吹淋室、缓冲间或传递窗等。洁净室一些配套设备如工作台，洗手池，鞋凳、地漏等要选择不锈钢材质的，不容易产生灰尘。
2. 宜尽量减少洁净区域的面积，洁净室内只应放置必要的工艺设备和设施，室内工作人数应控制在z低限度。同时，还应考虑到使原材料、半成品和成品存放区面积与生产规模相适应。
3. 根据需要合理布置辅助车间。清洗工具洗涤、存放室、维修保养室均不宜设在洁净生产区内；洁净工作服的洗涤、干燥室的洁净等级一般可生产区一个级别，而无菌服装的整理、灭菌室，其洁净级别应与生产区相同。
如何降低无尘车间尘埃粒子污染
随着科技的不断发展，如今社会的污染越来越严重，虽然现在出现很多净化空气的设备，但是都治标不治本，由于生产者、机器、零件等等都会发出尘埃粒子，为了使我们的生产工作有一个良好的环境，我们必须共同努力。
我们应该遵守以下基本守则：
1.工作人员在进入无尘车间时，零件及机器带入须进行清洁处理；
2.进入无尘车间时须进入更衣室穿无尘服，佩戴无尘冒、鞋、手套、口罩等；
3.通过风淋室时利用高速干净空气去除附在衣服上面的尘埃，方能进入无尘车间；
4.机器及材料进入无尘车间前，尽量保持在密封状态下，带进无尘车间前，须经过风淋室吹淋后，才可进入无尘车间；
5.无尘车间全过程中必须穿戴密封式安全帽及佩戴具有小型排气的腰带。
6.进入无尘车间，须按照以上几条，才能降低尘埃粒子的污染，虽然污染是避免不了的，但是我们可以通过我们的努力来降低它的污染。
我国 无菌车间行业应加强技术：
紫外线灭菌杀菌 无菌车间（或接种箱内）喷洒３~５%石炭1酸溶液，一 方面使空气中附着有微生物的尘埃下降，另一 方面也可以杀1死一部门细1菌。周护养后的筹备工作１ 若层流净化台检测功效跨越划定尺度，应用尘埃粒子计数器找出其高1效过滤器的泄露1点并 修补，需要时，请维修工改换高1效过滤器或调风速。无尘车间洁净功课区现实上研究或试验室（有关菌类）也应该规划为无菌车间为宜．可防止微生物污染。
tba/１９ 机 无菌车间边主要无菌车间机种典型，当然要配合现场出产线。
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