淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。我公司的主要产品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水环式真空泵及压缩机:W、WY、WLW系列往复式真空泵旋片式2X系列、W、WY系列往复式真空泵,真空过滤机配套产品等,广泛应用于石油、化工、电子、机械、冶金、矿山、食品、印刷等
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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。我公司的主要产品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水环式真空泵及压缩机:W、WY、WLW系列往复式真空泵旋片式2X系列、W、WY系列往复式真空泵,真空过滤机配套产品等,广泛应用于石油、化工、电子、机械、冶金、矿山、食品、印刷等各个领域。
选择时,应该了解真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵;如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,也能达到清洁真空要求。
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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。
定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:
半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。
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真空泵漏率测量的办法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个区或者被检容器内充人示漏物质,另一侧抽真空或是大气;或是在被检容器的内外两侧形成压差或示漏物质的浓度差,在低压或低浓度侧漏物质的漏率和浓度变化。
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