车间的地面要用地面防滑，牢固，不渗漏，易清理，耐腐蚀的材料铺制，净化车间地面表层要平整，不存水。车间全部地面的水准在设计方案和修建时应当比工业区的地面水准略高，地面有的陡坡度。车间的墙壁应当铺有2
米之上的墙面，墙壁用耐腐蚀，容易清洗消菌，牢固，不渗漏的材料铺制及用浅灰色，无毒性，防潮，除霉，不容易掉下来，可清理的材料覆涂。净化车间的墙脚，地脚线和夹角夹角不小于3cm呈弧型。净化车间
净化车间施工
车间的地面要用地面防滑，牢固，不渗漏，易清理，耐腐蚀的材料铺制，净化车间地面表层要平整，不存水。车间全部地面的水准在设计方案和修建时应当比工业区的地面水准略高，地面有的陡坡度。车间的墙壁应当铺有2
米之上的墙面，墙壁用耐腐蚀，容易清洗消菌，牢固，不渗漏的材料铺制及用浅灰色，无毒性，防潮，除霉，不容易掉下来，可清理的材料覆涂。净化车间的墙脚，地脚线和夹角夹角不小于3cm呈弧型。净化车间的墙顶用的材料要有利于清理，有水蒸汽造成的工作地区，墙顶常用的材料也要不容易冷凝水球，在修建时要产生适度的倾斜度，防止凝结水滴下到商品上。车间窗门有防蛀，防污及防蝇设备，常用材料应耐腐蚀容易清洗。阳台离地面不少于一米，并有45
度斜坡。
净化车间的温湿度主要是依据您的加工工艺规定来明确，在考虑加工工艺的标准下，优选应当考虑到（cider)人的舒适度。伴随着气体洁净度等级规定的提升，加工工艺对温湿度的规定也愈来愈高，净化车间务必做到一定的温湿度级别。
比如在规模性集成电路芯片生产制造(Produce)的光刻曝出（exure)加工工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与硅(silicon)片的热变形(inflate)指数的差规定愈来愈小。净化车间净化车间原材料是净化车间墙、顶板才一般多选用50毫米厚的夹心彩钢板生产制造，其特性为美观大方、刚度强、隔热保温性能好、易工程施工。
净化车间共有五部分组成：
1、隔间
净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。
2、风系统风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统：
<1>全新风空调箱结构
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。
3、水系统水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12 度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
板式换热器原理
干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22 度,其温度12 度左右,故7 度冰水不能直接进入净化车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14 度.
4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
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