淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。
水环真空泵的高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都很需求。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有重要的位
水环式真空泵厂
淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。
水环真空泵的高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都很需求。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有重要的位置。各种范围的继承电路。包括存贮器、运算器、通知逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和维护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。
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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:
半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。
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水环式真空泵抱轴的问题主要从轴承组件出发,原因具体分析如下:轴承的本身质量存在差异,或是长时间的运转中造成的磨损及老化,再就是在装配过程中,轴承的定位与设计要求有悬殊,定位不准确,各组件的选用不合理,润滑油的也关系到这种情况的发生,如果泵的整体振动过大等情况,也是造成这种原因的发生。
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1、确认泵电机已送电,水环式真空泵具备开机条件,联系相关岗位操作员,确认泵不转,盘车均匀灵活,打开泵入口阀打开1/3阀位,启动电动机,启动电机后立即将泵体注水线上的阀门、密封液阀打开,使得泵体与汽水分离器内的水达到平衡状态,但大家注意,若出现下列情况立即停泵:异常泄漏,异常振动,异常声音,异味,火花,烟气,电流持续不下。
2、调节泵进出口阀,确认泵入口真空度在0.08-0.02Mpa之间,出口流量正常,电动机电流在正常范围内,调整泵流量,联系相关岗位操作员,确认泵进出口压力稳定。
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